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PHOSPHORIC ACID 85 % Grade 2索尔维雕刻助剂
​PHOSPHORIC ACID 85 % Grade 2索尔维雕刻助剂

PHOSPHORIC ACID 85 % Grade 2索尔维雕刻助剂

 详情说明
​磷酸在蚀刻Si3N4而不是SiO2时具有高选择性。与INTEROX®过氧化氢和水结合使用,可用于蚀刻对InP具有选择性的铝和InGaAs。电子级磷酸在德国Bernburg生产。它专为满足电子行业的需求而定制,重点是半导体晶片制造中的湿法加工步骤。

CAS号

7664-38-2

全Q事业部

特殊化学

[123 ]
同义词
H3PO4;正磷酸
[123 ] Phosphorus Specialties 磷酸和盐磷酸

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