PHOSPHORIC ACID 85 % Grade 2索尔维雕刻助剂PHOSPHORIC ACID 85 % Grade 2索尔维雕刻助剂
磷酸在蚀刻Si3N4而不是SiO2时具有高选择性。与INTEROX®过氧化氢和水结合使用,可用于蚀刻对InP具有选择性的铝和InGaAs。电子级磷酸在德国Bernburg生产。它专为满足电子行业的需求而定制,重点是半导体晶片制造中的湿法加工步骤。
CAS号
7664-38-2
全Q事业部
特殊化学
[123 ]
同义词
H3PO4;正磷酸
[123 ] Phosphorus Specialties 磷酸和盐磷酸