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SIFREN® 46索尔维蚀刻气体
​SIFREN® 46索尔维蚀刻气体

SIFREN® 46索尔维蚀刻气体

 详情说明
​Sifren®46(C4F6或六氟丁二烯)C4F6的GWP = 0,是关键应用中最先进的蚀刻气体。其低C / F比和不饱和度可实现蚀刻中最高的纵横比.Sifren®46(C4F6或Hexafluoro-1,3-butadiene)是一种具有交替双键的不饱和碳氟化合物。它是一种无色,无味,有毒,易燃的气体,在以氙(Xe)和氩(Ar)作为载体或稀释气体制造的半导体器件中,对等离子体,离子束或溅射蚀刻具有非常高的性能。由于大气寿命短(<1天),可忽略不计的 全Q变暖潜势,以及对平流层臭氧层的惰性,Sifren®46是环境友好型气体。

CAS编号

685-63-2

全Q事业部

特殊化学

[123 ]
品牌
SIFREN®46
别名
C4F6;六氟丁二烯
[123 ]氟衍生物氟化学品六氟丁二烯

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