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​Sifren®46（C4F6或六氟丁二烯）C4F6的GWP = 0，是关键应用中最先进的蚀刻气体。其低C / F比和不饱和度可实现蚀刻中最高的纵横比.Sifren®46（C4F6或Hexafluoro-1,3-butadiene）是一种具有交替双键的不饱和碳氟化合物。它是一种无色，无味，有毒，易燃的气体，在以氙（Xe）和氩（Ar）作为载体或稀释气体制造的半导体器件中，对等离子体，离子束或溅射蚀刻具有非常高的性能。由于大气寿命短（<1天），可忽略不计的 全Q变暖潜势，以及对平流层臭氧层的惰性，Sifren®46是环境友好型气体。

CAS编号

685-63-2

全Q事业部

特殊化学

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品牌
SIFREN®46
别名
C4F6;六氟丁二烯
[123 ]氟衍生物氟化学品六氟丁二烯